“中兴事件”、“华为事件”相继爆发，中美贸易战旷日持久，集成电路对于国家综合国力的重要性不言而喻。当前集成电路高校教学重视理论，缺少实践机会，与真实集成电路人才的需求脱节。出现这一现象的原因可以归结为三点：第一、集成电路发展迅速，根据“摩尔定律”，集成电路的集成度每两年就要翻一番，先进技术层出不穷，而学校还是沿用几年甚至十几年前的理论进行指导，即使有实践环境，也是很多年前的旧设备、旧工艺，与真实的集成电路制造严重脱节。第二、集成电路设备昂贵，相关设施在实验操作过程中（比如扎探针）容易损坏，工艺线要保证无尘和稳定，即使学校组织学生进行企业实践，企业也很难让学生进行真正意义的实践操作。第三、由于仪器设备成本高、占用空间大，因此实物实训需要的设备数量有限，学生根本无法做到人手一台设备；同时，实验设备复杂多样，实物实训具有很大的危险性，实验通常也需要很长的时间进行调试，这使得人员与设备的安全性型无法保证。

因此，本项目提出使用虚拟现实技术，以“理、虚、实”一体化的教学方式，构建虚拟现实软件及云平台等，向学生提供能随时随地进行虚拟现实的实验条件，让学生在虚拟环境中开展实验，弥补实际实验实训中的不足，提高实训效果。

本实验项目依托复旦大学微电子学院和北京博达微科技有限公司联合进行项目的开发。

复旦大学微电子学院具有优秀的办学基础，前身是1958年我国半导体物理学的开拓者之一谢希德教授创办的半导体物理专业。1984年设立博士点，1988年，“微电子学与固体电子学”被评为国家重点学科。1992年“专用集成电路与系统”国家重点实验室获批，具备国际一流的软硬件设计环境。为带动电子信息学科发展，复旦大学积极响应“国家急需，世界一流”号召，2013年4月作为试点单位成立了复旦大学微电子学院。现有办学面积7.66万平方米，是复旦大学积极发展工科“先行先试”的首个改革试点单位。学校给予了微电子学院充分的资源保障和有力的支持。作为2013-2014年复旦大学学科建设的一号工程，聘请了国内外著名专家学者组成了强有力领导核心，组织了国内外知名学者对人才培养、学科发展以及产学合作进行了多次讨论，为示范性微电子学院的建设奠定了坚实基础。

在人才培养基础上，复旦大学微电子学院是首批国家集成电路人才培养基地之一（2003年）、国家首批工程博士培养点（2011年）、国家集成电路人才国际培训（上海）基地（2014年）以及首批国家示范性微电子学院（2015年）。复旦微电子学院研究平台现在有科技部国家重点实验室，工信部国家集成电路创新中心，教育部集成电路攻关大平台，发改委集成电路产教融合创新平台。拥有一支精诚团结、精深造诣、丰富产业经验、以服务国家战略发展为己任的教师队伍，具有丰富的集成电路方面人才培养经验和雄厚的产学联合基础。在复旦大学微电子学科不断发展的过程中，培养了一大批集成电路技术骨干、高层管理人才，培养了如马俊如、叶甜春、陈向东、赵宇航、陈军宁、刘伟平、张顺茂、周红等为中国集成电路产业做出杰出贡献的高端人才。

在人才培养合作经验上，复旦大学微电子学院具有优秀的产学合作培养人才基础，与中国内地规模最大、技术最先进的集成电路晶圆代工企业--中芯国际集成电路制造有限公司、武汉新芯、清华大学、北京大学、及中科院微电子所合作成立“集成电路先导技术研究院”。与上海华力微电子有限公司以及中科院下属集成电路相关研究机构中科院微电子研究所、中科院上海微系统所、中科院上海高等研究院都有着开放共享的密切合作关系。与上海集成电路技术与产业促进中心（ICC）及上海集成电路研发中心（ICRD）有限公司也在长三角集成电路设计与制造协同创新中心框架下签署了战略合作协议。同时与区域骨干集成电路企业例如复旦微电子集团股份有限公司、上海华虹集成电路有限责任公司、杭州中天微系统有限公司等就共同深化集成电路行业紧缺创新人才培养模式改革达成了不同内容方向的共建协议。

北京博达微科技有限公司作为国内知名的集成电路EDA企业，拥有近百家全球领先的半导体公司，大学和科研单位为客户，成功将人工智能算法应用在集成电路测试和相关环节，所发表的学术文章荣获2018年度IEEEDATE大会最佳论文（国际四大顶级EDA会议之一），并荣获2019年度中国IC设计成就奖之年度创新EDA公司。博达微科技有限公司是国内少有的将集成电路工业经验应用在高校教学领域的公司之一，公司自主研发的微纳电子教学套件教学套件已经在国内外20多所院校应用，包括：清华大学，北京大学、复旦大学、南京大学、首尔国立大学，韩国建国大学，中科院微电子所，华东师范大学，北方工业大学，南京邮电大学，南方科技大学，等多家领先院校，大大推动了国内高校的集成电路教学与真实产业人才需求相结合。

在本次集成电路12英寸晶圆测试虚拟现实（VR）实验中，学生可以通过虚拟实验掌握以下知识点：

1）掌握集成电路12英寸晶圆的工业级测量方法

2）掌握集成电路典型器件（场效应晶体管、双极型晶体管、二极管、电阻、电容、变容器等）的工业级测量方法

3）掌握集成电路300毫米探针台的使用方法4）掌握集成电路典型测试设备（如：源测量单元（SourceMeasureUnit，

SMU）、LCR表）的使用方法